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真空泵是真空干燥箱的必须品之一，客户选用真空泵时，需要注意下列事项:

1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如:真空镀膜要求110-5尘尘贬补的真空度，选用的真空泵的真空度至少要510-6尘尘贬补。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。

2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强范围，如:扩散泵为10-3词10-7尘尘贬驳，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强范围为510-4词510-6尘尘贬驳。因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在10-8尘尘贬驳下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2尘尘贬驳下工作，但其工作压强应小于110-5尘尘贬驳为好。

3，真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量

4、正确地组合真空泵。由干真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而叁极型溅射离子泵，(或二极型非对称阴极测射离子泵)对氙有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装苦得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下下作，需要

预真空;有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如;水环泵，分子筛吸附泵，溅射离子泵，低温泵等。如果要求不严格，可以选择有油泵，加上一些防油污

染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁真空要求。

6.了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，需要知道气体成分，针对被抽气体选择相应的泵、如果气体中含有蒸气，颗粒，及腐蚀

性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。

7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。

8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响，若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。